质量流量控制器
SEC-E40 系列
(制造单位:HORIBA STEC有限公司)
适用于从微小流量到大流量控制的低成本型号
概要
适用于广泛范围的流量控制:在同一系列中,适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
适用于广泛的用途:在普通产业市场中,拥有众多的销售业绩,引以为豪。
低成本:产品阵容中有力求具有成本优势的型号: SEC-E40MK3/E50MK3
技术规格
型号 |
SEC- (质量流量控制器) |
E40/E40MK3 |
E50/E50MK3 |
SEF- (质量流量计) |
E40 |
E50 |
适用气体种类*1 |
非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He) |
气体接触部材质 |
SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢 |
阀门型号 |
非通电时 关闭 |
标准流量量程 (N2相应F.S.) |
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM |
20/30 SLM |
流量控制范围 (适于SEC系列) |
2?100% F.S. |
流量测量范围 (适于SEF系列) |
0?100% F.S. |
响应速度 |
1秒以内(T98) |
流量精度 |
±1% F.S. |
直线性 |
±0.5% F.S. |
反复性 |
±0.2% F.S. |
工作差压值值 (适于SEC系列) |
10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d) |
使用压力 (适于SEF系列) |
300kPa(G)以下 |
耐 压 |
1MPa(G)以下 |
外部泄漏率 |
1×10-8Pa?m3/s(He)以下 |
使用环境温度 |
5?50℃(精度的确保:15?35℃) |
流量设定信号 |
0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S. |
流量输出信号 |
0?5VDC(最小负荷电阻2kΩ) |
驱动电源 |
+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA |
+15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
标准接头*2 |
1/4SWL 类型 |
型号 |
SEC- (质量流量控制器) |
E60 |
E70 |
E80 |
SEF- (质量流量计) |
E60 |
E70 |
E80 |
适用气体种类*1 |
N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10 |
N2、O2、Air、H2 |
气体接触部材质 |
SUS316.氟化橡胶、磁性不锈钢 |
阀门型号 |
非通电时 关闭 |
标准流量量程 (N2相应F.S.) |
50/100 SLM |
200 SLM |
300/500 SLM |
流量控制范围 (适于SEC系列) |
5?100% F.S. |
流量测量范围 (适于SEF系列) |
0?100% F.S. |
响应速度 |
1秒以内(T98) |
2秒以内(T98) |
流量精度 |
±1% F.S. |
±2% F.S. |
直线性 |
±0.5% F.S. |
±1% F.S. |
反复性 |
±0.5% F.S. |
±1% F.S. |
工作差压值值(适于SEC系列) |
100?300kPa(d) |
200?350kPa(d) |
使用压力 (适于SEF系列) |
350kPa(G)以下 |
耐 压 |
1MPa(G)以下 |
外部泄漏率 |
1×10-7Pa?m3/s(He)以下 |
450kPa(G)加压10分钟减压1%以内 |
使用环境温度 |
5?45℃(精度的确保:15?35℃) |
流量设定信号 |
0.25?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S. |
流量输出信号 |
0?5VDC(最小负荷电阻2kΩ) |
驱动电源 |
+15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA |
标准接头*2 |
3/8SWL 类型 |
1/2SWL 类型 |
载以外的内容,请另行咨询协商。(单位:mm)
型式 |
H |
T |
W |
I (1/4 VCR) |
I (1/4 SWL) |
I (3/8 VCR) |
I (3/8 SWL) |
A |
B |
C |
D |
E |
SEC-Z512MG |
126 |
28 |
63.8 |
106 |
|
|
|
21.9 |
20 |
6.5 |
15 |
12.7 |
SEC-Z514MG |
126 |
28 |
63.8 |
106 |
|
|
|
21.9 |
20 |
6.5 |
15 |
12.7 |
SEC-Z522MG |
143 |
38.5 |
63.8 |
106 |
|
|
|
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
12.7 |
SEC-Z524MG |
143 |
38.5 |
63.8 |
106 |
|
|
|
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
12.7 |
SEC-Z11D |
127 |
28.5 |
81.8 |
- |
|
|
|
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
- |
SEC-Z12D |
127 |
28.5 |
81.8 |
- |
|
|
|
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
- |
SEC-Z11DW |
140 |
38.6 |
63.8 |
106 |
|
|
|
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
12.7 |
SEC-Z12DW |
140 |
38.6 |
63.8 |
106 |
|
|
|
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
12.7 |
SEC-Z13DW |
172 |
80 |
125 |
|
|
177 |
|
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
20 |
SEC-F730 |
106 |
35 |
64.2 |
106 *2 |
|
|
|
22.1 |
20 |
10 |
15 |
12.7 |
SEC-F740 |
126 |
35 |
64.2 |
106 *2 |
|
|
|
22.1 |
20 |
10 |
15 |
12.7 |
SEC-F750 |
140 |
40 |
64.2 |
106 *2 |
|
118 |
|
19.4 |
25 |
7.5 |
25 |
12.7 |
SEC/SEF-V110DM |
116.5 |
37.6 |
63.8 |
106 *2 |
|
|
|
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
12.7 |
SEC/SEF-V120DM |
116.5 |
37.6 |
63.8 |
106 *2 |
|
|
|
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
12.7 |
SEC-7320 |
106 |
28 |
63.8 |
106 *2 |
110 |
|
|
21.9 |
20 |
6.5 |
15 |
12.7 |
SEC/SEF-7330 |
106 |
28 |
63.8 |
106 *2 |
127 |
|
|
21.9 |
20 |
6.5 |
15 |
12.7 |
SEC-7340(LD) |
126 |
28 |
63.8 |
106 *2 |
127 |
|
|
21.9 |
20 |
6.5 |
15 |
12.7 |
SEC/SEF-7350 |
140 |
34 |
63.5 |
106 *2 |
127 |
|
|
19.2 |
25 |
4.5 |
25 |
12.7 |
SEC/SEF-7355 |
145 |
49 |
80.8 |
124 |
|
132 |
135 |
20.4 |
40 |
12 |
25 |
20 |
SEF-7140 |
106 |
32 |
47 |
87 |
|
|
|
27.6 |
0 |
9 |
14 |
12.7 |
SEC/SEF-4400(MF) |
126 |
32 |
76 |
124 |
127 |
|
|
19 |
38.1 |
6.75 |
18.5 |
12.7 |
SEC/SEF-4500(MF) |
132 |
32 |
108 |
156 |
159 |
|
|
20.2 |
67.7 |
3.7 |
24.6 |
IN14.6 OUT12 |
SEC/SEF-4550 |
150 |
50 |
108 |
156 |
159 |
160 |
163 |
20.1 |
67.7 |
12.7 |
24.6 |
IN14.6 OUT12 |
SEC/SEF-4600 |
150 |
80 |
125 |
|
|
177 |
179 |
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
20 |
SEC-4400SP/SR |
126 |
32 |
76 |
124 |
|
|
|
19 |
38.1 |
6.75 |
18.5 |
12.7 |
SEC-4401(MF) |
126 |
32 |
76 |
124 |
|
|
|
19 |
38.1 |
6.75 |
18.5 |
12.7 |
SEC-4501(MF) |
132 |
32 |
108 |
156 |
|
164 |
|
20.2 |
67.7 |
3.7 |
24.6 |
IN14.6 OUT12 |
SEC-E440J |
112 |
38 |
76.2 |
124 |
127 |
|
|
19.1 |
38.1 |
9.75 |
18.5 |
12.7 |
SEC-E450J |
112 |
38 |
76.2 |
124 |
127 |
|
|
19.1 |
38.1 |
9.75 |
18.5 |
12.7 |
SEC-E40(MK3) |
126 |
32 |
76 |
|
127 |
|
|
3.5 |
69 |
6.75 |
18.5 |
12.75 |
SEC-E50(MK3) |
126 |
32 |
76 |
|
127 |
|
|
3.5 |
69 |
6.75 |
18.5 |
12.75 |
SEC-E60 |
159 |
44 |
95 |
|
|
|
150.8 |
3.5 |
50 |
8 |
28 |
22 |
SEC-E70 |
159 |
44 |
95 |
|
|
|
150.8 |
3.5 |
50 |
8 |
28 |
22 |
SEC/SEF-6470 *1 |
147 |
40 |
150 |
|
|
|
|
- |
45 |
- |
20 |
35 |
SEC/SEF-6480 *1 |
152.5 |
108 |
204 |
|
|
|
|
- |
- |
- |
- |
50 |
SEC-8340 |
130.5 |
48 |
76 |
124 |
127 |
|
|
19 |
38.1 |
6.75 |
18.5 |
22.7 |
SEC/SEF-8440 |
120.5 |
32 |
76 |
124 |
127 |
|
|
19 |
38.1 |
6.75 |
18.5 |
12.7 |
SEC/SEF-8450 |
127 |
32 |
108 |
156 |
159 |
|
|
20.2 |
67.7 |
3.7 |
24.6 |
IN14.6 OUT12 |
SEC/SEF-8455 |
150 |
50 |
108 |
156 |
159 |
160 |
163 |
20.1 |
67.7 |
12.7 |
24.6 |
IN14.6 OUT12 |
SEC/SEF-8460 |
150 |
80 |
125 |
172 |
172 |
177 |
179 |
31.5 |
80 |
15 |
50 |
20 |
SEC/SEF-2410 |
122 |
25.5 |
76 |
124 |
|
131 |
|
3.5 |
69 |
3.5 |
18.5 |
12.7 |
SEC/SEF-2510 |
131.5 |
32 |
108 |
156 |
|
163 |
|
17.2 |
101.6 |
9.3 |
25.4 |
IN14.6 OUT12 |
SEC/SEF-2551 |
137 |
44 |
136 |
184 |
|
191 |
|
30 |
80 |
33.5 |
- |
IN14.6 OUT12 |
SEC/SEF-310 |
80 |
20 |
60 |
106 |
110 |
|
|
20 |
20 |
10 |
- |
10 |
SEC/SEF-320 |
80 |
20 |
60 |
106 |
110 |
|
|
20 |
20 |
10 |
- |
10 |
SEC/SEF-400 |
122 |
25.5 |
76 |
124 |
127 |
131 |
131 |
3.5 |
69 |
3.5 |
18.5 |
12.7 |
SEC/SEF-500 |
131.5 |
32 |
108 |
156 |
160 |
163 |
163 |
9 |
80 |
3.7 |
24.6 |
IN14.6 OUT12 |
SEC/SEF-550 |
137 |
44 |
136 |
184 |
188 |
191 |
190 |
17.2 |
101.6 |
9.3 |
25.4 |
14.9 |
SEC/SEF-600 *1 |
140 |
67 |
122 |
170 |
173 |
177 |
175 |
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
※1 参照 |
20 |
SEC-400MK2?3 |
115.5 |
25.5 |
76 |
124 |
127 |
|
131 |
3.5 |
69 |
3.5 |
18.5 |
12.7 |
SEC-500MK2?3 |
125 |
32 |
108 |
156 |
160 |
163 |
163 |
9 |
90 |
3.7 |
24.6 |
IN14.6 OUT12 |
因为汇率经常变动,以上产品价格只做参考!不做下单依据!请见谅!谢谢合作!
运营商:深圳市杉本贸易有限公司
服务承诺:本产品全国联保,享受三包服务,质保期为:一年质保。如因质量问题或故障,
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